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濕式蝕刻清洗機
一般都分成酸/鹼與有機兩大類，用於酸/鹼溶劑的Wet Bench，主體都使用WPP材質；用於有機溶劑的Wet Bench，溶劑槽則以石英與不繡鋼材質作搭配。
- Wet Bench一般都分成酸/鹼與有機兩大類，用於酸/鹼溶劑的Wet Bench，主體都使用WPP材質，而溶劑槽則以石英與鐵氟龍材質作搭配；用於有機溶劑的Wet Bench，因為有燃點較低的問題(如：ACE、IPA)，所以主體大多使用不銹鋼，溶劑槽則以石英與不繡鋼材質作搭配，並且附掛CO2滅火裝置。
- Wet Bench一般都會依需求客製，但是各單位的考量卻會造成許多錯誤的選擇。 一般而言，製程人員考量使用溶劑與溫度，設備維護人員考量管、閥件、加熱控溫系統、 熱氮吹乾設計，生產單位則考量操作與使用的便利性，採購人員考量的就是價格。
- 我們會整合各單位需求條件，訂定基本要素，劃清重點，設計、製造符合客戶需求之設備。
- 首先，必須知道可用區域，才可以確定機台的主體大小。再來就是需要使用的溶劑有哪一些？ 製程溫度是多少？獲得這些資料後，就可以開始進行規劃討論！
